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    iH600愛德華干式泵維修

    更新時間:2021-03-24

    簡要描述:

    iH600愛德華干式泵維修
    iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
    A59040946
    技術數據
    峰值速度 1800 m3h-1
    1060 cfm

    • 產品型號:
    • 廠商性質:經銷商
    • 產品廠地:東莞市
    • 訪問次數:190
    品牌Edwards/英國愛德華輸送介質其他
    泵軸位置其他葉輪數目其他
    應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子
    iH600愛德華干式泵維修
    iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
    A59020946
    技術數據
    峰值速度                 518 m3h-1
                                    305 cfm
                                    8635 l min-1
    極限真空                 2 x 10-3 mbar
                                    1.5 x 10-3 Torr
                                    0.2 Pa
    典型軸封氮流量                 4 slm
    進氣口連接                 ISO100
    出口連接                 NW40
    15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
                                    4 l min-1
    重量                         415 kg
    極限功率輸入                3.1 kW
    電機額定功率            5.1 kW
    油容量                         1.43 l
     

    功能和優勢
    優化了設施消耗。
    無需預防性維護。
    懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
    在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
    耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
    較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
    整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積

    概述
    Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
     
    iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
    應用
    負載鎖
    輸送
    計量
    平版印刷
    PVD 制程
    PVD 預清潔
    RTA
    剝離/灰化
    刻蝕
    植入源
    HDP CVD
    RTP
    SACVD
    MCVD
    PECVD
    LPCVD
    ALD

     東莞市鴻鑫真空設備有限公司專業維修愛德華iH系列,iXL系列等干泵
    iH600愛德華干式泵維修

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